1、升降式大功率真空微波熔炉,用于材料熔融,例如多晶硅的熔融制取 2、支持1500˚C以内材料熔融工艺 3、支持真空气氛条件工艺 4、支持升降式装填料工艺 5、支持恒速度多温区变换结晶工艺 6、智能化控制系统,温度和功率闭环可控 7、实验数据曲线显示且可以导出数据
1.组成:微波真空加热箱体、微波源系统、物料输送承托系统、保温系统、水冷却系统、充气系统、防泄漏系统、控制系统、电控柜及机架 2.制作条件:输入电源:3相,380V/50Hz,配电功率:>40KVA 3.加热系统:微波功率:24KW ,2450±50MHz 4.微波加热箱体尺寸:约400L空间,尺寸为900×900×500 mm(长×宽×高) 5.坩埚内净尺寸:约500×500 ×300 mm(长×宽×高) 6.坩埚容量:50-60KG 7.设备进出料口: 配合升降系统在设备底部开口,托盘尺寸约 640×640mm 8.工作温度:700~1500˚C,极限温度1600˚C 9.微波箱体材质:微波腔体采用不锈钢一体焊接成型,真空气氛设计 10.微波馈入部位:微波从箱体的四周馈入 11.工作时间:可以承受长期高效率工作 12.微波泄漏量:<5mw/cm2 (国标) 微波源系统 微波源:水冷系统 波导:采用高真空波导系统 物料输送承托系统 设置升降装置,采用伺服电机和减速机,调节控制位移量,完成输料、定向结晶功能 输送过程中,保证物料定位准确,输送平稳 坩埚到达加热区后,与炉底结合严密,保证在加热过程中炉腔的气密性和保温效果 保温系统 低介电特性陶瓷保温材料 水冷却系统 微波源采用水冷却方式快速降温,确保高温条件下有效的工作 坩埚下方的水冷托盘水流速度可控 气氛系统 预留两个进气孔,采用电磁阀和管路连接,以便真空室内充入保护性气体和分压气体, 设置两极真空泵组实现高真空环境 控制系统 控制方式:采用PLC自动化控制,彩色触摸屏人机界面,数字显示微波功率及箱体内温度 测温:采用红外和热电偶双测温方式,动态监测物料温度 控温:编程控制,可手动设置控温时间及温度要求,恒温精度:≤±10℃ 功率调节: 0~24KW线性可调